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无氧烤箱简介,高温无氧烤箱应满足哪些工艺需求?
2020-04-05 13:45:18
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精密烤箱

  无氧烤箱简介,高温无氧烤箱应满足哪些工艺需求?


  无氧烤箱,无尘无氧烤箱,半导体高温烤箱应用于精密电子元件、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,箱内空气封闭自循环,经耐高温高效空气过滤器(100级)反复过滤,使烘箱工作室内处于无尘状态。无尘烤箱工作室为不锈钢结构。无氧烤箱适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业。


  无氧烤箱主要特点如下:


  1.采用特制耐高温长轴型马达及强力多翼式风叶,强力吸风式机构使得均匀分布温度,安静低噪音,节约能源;


  2.箱体选用全陶瓷纤维保温,具有升温快、节能等特点;


  3.吸风口玻纤过滤器,确保洁净度的要求。


  无氧烤箱满足标准:


  1.11158-1989高温试验箱技术条件


  2.2423.2-1989试验B


  无氧烤箱技术参数:


  1.温度范围:RT~450℃;


  2.内箱尺寸:800×600×600mm(W×H×D)、700*500*500(可选);


  3.箱体数:2个,上下布置,可定做;


  4.内胆材质:SUS321镜面不锈钢,无缝焊接保护被加工件不受任何污染;


  5.升温时间(空载):1.5h;


  6.降温时间(空载):300℃-50℃降温时间1.5-3.5小时(采用水冷翅片散热器);


  7.加热器:特制无尘加热器;


  8.温度和氧含量记录:进口无纸记录仪;


  9.标准配件高效99.97%(0.3μ)微粒空气过滤器、微差压力剂、计时器、可调隔层板、单段式温度控制器


  无氧烤箱氧含量:


  1.高温状态氧含量:≤10ppm+气源氧含量;


  2.低温状态氧含量:≤20ppm+气源氧含量


  3.控温稳定度:±1℃;温度均匀度:±10℃(400℃平台);


  无氧烤箱配置:


  1.配置PLC,可实现多事件输出控制气氛、水等开关和报警;


  2.控制:上下炉腔可单独控温、通气、报警保护;


  3.控温仪表:日本岛电FP93温控仪;


  4.控温段数:4×10段;控温点数:2点;


  5.超温报警点数:2点;检测点数:2点;


  6.报警保护:超温、断偶等声光报警保护;超温保护:独立感温式超温保护器;电机保护:电机过电流、水冷保护;表面温升:<30℃

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  高温无氧烤箱应满足哪些工艺需求?


  根据PI/BCB胶固化工艺要求,无氧烤箱须是温度均匀性较好的烘箱。均匀性较差的烘箱会导致胶水固化后产生起泡,支架衬底烘烤后翘曲不平等问题,常用的固化温度极限为375度,因此,选购固化烘箱的时候要注意温度范围选择。烤箱的风道循环建议采用水平风结构的烘箱,这种结构的烤箱受放置产品的数量影响较小。高温无氧烤箱无论温度均匀度还是风道循环方面,都充分考虑到客户工艺需求,坚持为客户着想,解决客户的后顾之忧。


  PI胶、BCB胶高温固化烤箱应具有加热计时功能。工艺生产中对烘烤时间是有要求的,烘烤时间过短,胶水无法完全固化,烘烤时间过久,胶水硬化,开裂,脱胶等。另外,建议温控器可实现斜率升温,这样的好处可以通过调整升温速度来解决不同产品的胶水固化要求。高温无氧烤箱可实现多段温度程序控制,充分满足客户需求。还可根据客户工艺需求选配其他功能。


  PI胶、BCB胶高温无氧烤箱应配有水冷功能。PI胶、BCB胶固化工艺生产中对降温速率有要求的,降温速率太慢会引起PI/BCB胶开裂,脱胶等。另外,建议温控器可实现斜率降温,这样的好处可以通过调整升温速度来解决不同产品的胶水固化要求。无氧烤箱可根据客户工艺需求配备降温功能,温控器选择优质品牌,可满足客户多种工艺需求。


  PI/BCB胶无氧烤箱选购注意烤箱洁净度的要求。另外,封装过程一般是在无尘车间环境中,烤箱自身不能产生灰尘,洁净度要求较高的工艺或者车间中,建议采用class100级洁净烘箱。无氧烤箱吸风口玻纤过滤器,确保洁净度的要求。


  此外,无氧烤箱可根据客户工艺需求配备氧分析仪,精准控制氧含量,确保PI/BCB胶固化工艺中的氧含量范围。


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